例如制造执行系统作为半导体生产线的核心,它的主要功能是过帐,工厂中所有与生产相关的元素都要在制造执行系统上过帐。

例如各种设备、生产机台、操作工、量测机台,甚至每一片正在加工或等待加工的晶圆,都以id的形式记录在制造执行系统实时数据库中。每一种元素的状态发生变化时,都必须告知制造执行系统以便及时更新数据库。所以,制造执行系统能够实时地监控整个生产线状况。

现在国外半导体企业和大夏国内半导体企业已经走在两条道路上,半导体设备的状态数据、产品参数都完全不同,设备自动化系统除非做出对应本地化,不然根本不可能让另一个系统技术的设备与系统协同工作。

夏芯科技某厂。

看着十八英寸的晶圆在制造执行系统上过帐,状态由“激活”变为“派工”后,这批晶圆从仓库拿出放在机台的前台,随后机台进行加工。

技术员看着设备自动化系统显示面板上报告制造执行系统晶圆已经开始加工的信息,心里还有些小忐忑。

他还是第一次独立自主负责这个环节,生怕出了什么错误。

一边等待着,一边心头默默祈祷。

当机台生产加工结束,设备自动化系统向制造执行系统告知加工已结束的信息,显示面板上这批货的状态由“正在加工”改为“加工完成”,而后自动进入下一个缺陷检测分类环节之后,技术员的心直接就提到了嗓子眼。

九州科技的这套半导体系统,出了全程自动化的特点外,缺陷检测环节更是随处可见,不仅有数据监测,还有实地抽检,只要一个环节出现问题,这批货都会被标记,随后进入新一轮的分类,进行制造。

叮~

当指示灯转绿,年轻技术员的心一下子就落了下来。