第一百五十五章:光源与波澜(第3/4页)
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为自己所在的行业添上一座丰碑,为大夏半导体事业而努力,本就是他们的一个愿望。
特别是在顾青的“大力”栽培下,前途与钱途都得到了保证。
“我们都是这个行业的青壮一辈,我们都知道顾总您给出的技术是多么高瞻远瞩,光源是限制我们大夏半导体发展的关键技术。
所以都在加班加点的实验推演,仿生机械假肢项目的成功,我们都为同事为公司感到欣喜,但我们想尽早拿出成果,让整个大夏半导体不依靠外国的光源。”
李由在一旁做着解释。
虽然他知道顾青是理解他们的,但是这种事该解释还是需要解释的。
万一就被人穿小鞋,岂不是血亏?
顾青自然是理解的。
毕竟半导体这个产业,每一个项目都有专利墙保护,而光源就是命脉一般的存在,所以这群半导体人会这么如痴入魔。
“目前进度怎么样?”他问道。
李由皱了皱眉,“还不是很顺利,当初我们学的是采用248nkrf准分子激光作为光源的第三代光刻机和采用了193narf准分子激光,的第四代光刻机。
所以光源上的理论还有所生疏,而且德国那边的仪器,他们给的不是最先进的那一款,还有储存环,我们国内的不是很……。”
顾青表示理解,叹了口气道:“这很正常,要达到国际先进水平不容易,但是我们还有一个研究部门正在进行改造,不论是仪器和储存环,这个月底就会给你们。
as1公司采用的是高能脉冲激光轰击液态锡靶,形成等离子体然后产生波长纳米的euv光源,功率约250瓦。
随着芯片工艺节点的不断缩小,对euv光源功率的要求也将不断提升,估计会达到千瓦量级。